Typpitrifluoridi
kemiallinen yhdiste / From Wikipedia, the free encyclopedia
Typpitrifluoridi on epäorgaaninen yhdiste, jonka kaava on NF3. Ulkomuodoltaan se on väritöntä ja palamatonta kaasua. Sitä käytetään puolijohteiden plasmaetsauksessa.
Pikafaktoja Tunnisteet, Ominaisuudet ...
Typpitrifluoridi | |
---|---|
Tunnisteet | |
CAS-numero | 7783-54-2 |
PubChem CID | 24553 |
Ominaisuudet | |
Molekyylikaava | NF3 |
Moolimassa | 71,0019 g/mol |
Ulkomuoto | väritöntä kaasua |
Sulamispiste | –207.15 °C (66 K) |
Kiehumispiste | –129,1 °C (144 K) |
Tiheys | 1,885 g/cm3 |
Liukoisuus veteen | ei liukene |
Infobox OK |
Sulje
Se reagoi fluorin ja antimonipentafluoridin kanssa tuottaen tetrafluoriammoniumsuolaa, tetrafluoriammoniumheksafluoroantimonaattia.
- NF3 + F2 + SbF5 → NF4+SbF−6