طیفسنجی جرمی یون ثانویه
From Wikipedia, the free encyclopedia
طیفسنجی جرم یون ثانویه (به انگلیسی: Secondary ion mass spectrometry) یا SIMS یک تکنیک مورد استفاده در بررسی مواد حالت جامد میباشد. سیمس، تکنیک تجزیه و تحلیل ترکیب سطوح جامد و لایههای نازک، توسط کندوپاش سطح نمونه با پرتو یون متمرکز اولیه و جمعآوری و تجزیه و تحلیل یونهای خارج ثانویهاست. این یون ثانویه همراه با طیفسنج جرمی اندازهگیری میشود و برای تعیین ترکیب عنصری، ایزوتوپی یا مولکولی سطح کاربرد دارد. سیمس حساسترین تکنیک تجزیه و تحلیل سطح است که قادر به تشخیص عناصر موجود در محدوده یک در میلیارد میباشد.