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Ionisations-Vakuummeter
Druckmessung im Hochvakuum / aus Wikipedia, der freien encyclopedia
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Ein Ionisations-Vakuummeter ist ein Druckmessgerät zur Druckbestimmung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich, also etwa 10−3 mbar (0,1 Pa) bis 10−12 mbar (0,1 nPa). Das Prinzip basiert auf einer indirekten Druckmessung mittels elektrischer Größen, die zu den Restgaspartikeln mit der Teilchenzahldichte proportional sind. Dazu muss das Restgas ionisiert werden, wofür es unterschiedliche Umsetzungsmöglichkeiten gibt:
- Kaltkathoden-Ionisationsvakuummeter
- Glühkathoden-Ionisationsvakuummeter
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