Un Sistema microelectromecànic (MEMS acrònim anglès) és un sistema de tecnologia de dispositius microscòpics amb components entre 1 i 100 micròmetres, integrats juntament amb components electrònics per a processar la informació. Aquests dispositius micromecànics poden ser palanques, molles, membranes deformables, estructures vibrants, etc.[1] [2]
Fig.1 Exemple de dispositiu MEMS : oscil·lador mecànic
Es poden trobar aplicacions en biomedicina , automòbil, electrònica de consum i industrial i sensòrica (sensors de força, pressió, moviment, so...) en general.[3]
Silici : el més emprat en circuits electrònics.[4]
Polímers : materials plàstics especials.
Metalls : s'empren or, níquel, alumini, crom, titani, plata i platí.
Procesos de deposició de pel·lícules de gruix micromètric.[5]
Procesos de fotolitografia de transferència d'un patró a un material fotosensible .
Procesos de gravat de patrons mitjançants líquids i vapors químics.
Injectors MEMS piezoelèctrics per a impressores d'injecció de tinta.[6]
Acceleròmetres MEMS per a sistemes airbag en automòbils.
Acceleròmetres MEMS per telèfons mòbils, cònsoles de joc, càmares de fotografia.
Giroscopi MEMS per a detectar orientacions.
Sensors de pressió MEMS en múltiples aplicacions : pressió atmosfèrica, pressió pneumàtics, pressió arterial...
Micromiralls MEMS per a projectors d'imatges o vídeo.
Punts MEMS per a pantalles de visualització.
Sensor de pressió sonora per a micròfons de telèfons mòbils i similars.
Oscil·ladors MEMS per a patrons de rellotge.
Actuador lineal MEMS per a sistemes de posicionament.
Sensors de gas : CO2, gasos de compostos orgànics (VOC)
Més destacats a 06/04/2017:
Micròfons de ST, kmowles, AKUSTICA, Cirrus logic, JRC, vesper
Acceleròmetres, giroscopis i sensors inercials d'Analog devices, ST, Colibrys, maxim, Memsic
Sensors de corrent de Memsic
Sensors de temperatura de TI,Omron
Càmara infrarroja d'Omron,Panasonic
Micromiralls d'intersil,Microvision
Oscil·ladors de sitime
Commutadors d'Analog devices
Detectors de gas d'ams
Enllaços als fabricants : ST , knowles Arxivat 2017-01-26 a Wayback Machine . , AKUSTICA Arxivat 2017-02-02 a Wayback Machine . , Cirrus logic , JRC Arxivat 2017-02-02 a Wayback Machine . , vesper ,Analog devices Arxivat 2017-02-02 a Wayback Machine . , Colibrys Arxivat 2017-02-02 a Wayback Machine . , maxim , Memsic Arxivat 2017-03-01 a Wayback Machine . , Omron Arxivat 2016-11-09 a Wayback Machine . , Panasonic , intersil Arxivat 2017-02-02 a Wayback Machine . , Microvision Arxivat 2016-12-06 a Wayback Machine . ,sitime ,TI Arxivat 2017-02-02 a Wayback Machine .