Микротехнология
From Wikipedia, the free encyclopedia
Микротехнология е технология за изработка на структури и цели устройства с размери от порядъка на микрон и по-малки. При структури с размери под 100 нанометра се говори за нанотехнология. Технологичните процеси са използвани основно за производство на интегрални схеми, но през последните няколко десетилетия тези производствени методи започват да се използват за призводство на микроелектромеханични системи, аналитични микросхеми (английски: lab-on-a-chip (LOC)), производство на твърди дискове, слънчеви панели и други.