净室
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净室,又稱无尘室、潔淨室或清淨室,是指一个具有低污染水平的环境,這裡所指的污染來源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。更准确地讲,一个净室具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用最大颗粒大小来厘定的。低级別的净室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物),更在意的是無塵室中的灰尘。
淨室的定義為:將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔淨的環境。亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為無塵室。净室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、製藥、和醫院内的手術室等行業等,其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔淨度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求範圍內,才不會對製程產生影響。作為生產設施,净室可以佔據廠房很多位置。