طرحنگار نوری
From Wikipedia, the free encyclopedia
طرحنگاری نوری یا لیتوگرافی نوری یا فوتولیتوگرافی (به انگلیسی: Photolithography) فرآیندی است که در ریزساخت استفاده شده و برای ساخت الگو در بخشهایی از یک فیلم نازک یا روی کل یک ویفر استفاده میشود.
این مقاله به هیچ منبع و مرجعی استناد نمیکند. |
این مقاله نیازمند تمیزکاری است. لطفاً تا جای امکان آنرا از نظر املا، انشا، چیدمان و درستی بهتر کنید، سپس این برچسب را بردارید. محتویات این مقاله ممکن است غیر قابل اعتماد و نادرست یا جانبدارانه باشد یا قوانین حقوق پدیدآورندگان را نقض کرده باشد. |
در این فرایند پس از نشاندن یک لایه پلیمری حساس به نور (پلیمر واسط یا پلیمر مقاوم) روی سطح زیرلایه، پرتوی همگن از یک ماسک عبور کرده و طرحی روی پلیمر ایجاد میکند. در فرایند طرحنگاری نوری پس از ایجاد طرح روی پلیمر واسط، نواحی نور دیده، با مقاومت در برابر خوردگی، واسطه انتقال طرح به لایه زیرین میشوند؛ این فرایند بسیار شبیه به مُهرسازی با نور فرابنفش است؛ و در صنعت ساخت ادوات نیمرسانا نقش مهمی بازی میکند.
از زمان اختراع طرحنگاری نوری توسط نایپسه تاکنون منابع انرژی متفاوتی برای این کار استفاده شده، که منجر به ایجاد گونههای مختلف طرحنگاری شدهاست: فوتون فرابنفش، پرتوی ایکس، الکترون.
در حال حاضر فرایند اصلی ساخت ادوات نیمرسانا بر پایهٔ طرحنگاری نوری فرابنفش است، که با طیف طول موجهای بین ۳۰۰ تا ۴۵۰ نانومتر سر و کار دارد.
علت اصلی استفاده از طول موجهای کوتاه، رسیدن به ظرافت بیشتر در ساخت ادوات نیمرسانا است.